洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。
洁净室根据不同的空气气流形式，分为三类：乱流式、层流式、复合式
乱流式(TurbulentFlow)
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
层流式(Laminar)
层流式空气气流运动成一均匀的直线形，空气由覆盖率100%的过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。
复合式(MixedType)
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
