洁净度指空气环境中空气所含尘埃量多少的程度。一般情况下，是指单位体积的空气中所含大于等于某一粒径粒子的数量。含尘量高则洁净度低，含尘量低则洁净度高。
1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器。环境温度洁净室区的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应。
2、采样点的位置及数量
a.测定洁净度的每次最小采样量；
b.每个洁净区最少采样次数为3次，当洁净区仅有一个采样点时，则在该点至少采样3次；
d.对预期空气洁净度等级达到4级或更洁净的环境采样量很大可采用ISO14644-1附录F规定的顺序采样法。
3、技术要求
①每个采样点的平均粒子浓度Ci应小于或等于洁净度等级规定的限值；
②全部采样点的平均粒子浓度N的95%置信上限值应小于或等于洁净等级规定的限值。
4、操作过程及判定
①仪器开机后预热至稳定后，方可按照使用说明书的规定对仪器进行校正，自检、自校、零计数；
②采样管口置采样点采样时在确认计数稳定后方可开始连续读数；
③计数器采样口和仪器的工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差；
④对于单向流洁净室采样口应对着气流方向对于乱流洁净室采样口宜向上采样速度均应尽可能接近室内气流速度；
⑤记录数据评价。
