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尘埃粒子计数器可识别0.1μm微粒,助力半导体行

作者: www.tenor-china.com 时间:2025-01-07 来源:腾诺电子
摘要:半导体行业如何判定洁净度: 颗粒数是衡量洁净度的重要指标之一,通常用每立方米空气中特定尺寸(如 0.1m、0.3m、0.5m 等)的颗粒数量来表示。随着芯片制程的缩小,对颗粒尺寸的控...

半导体行业如何判定洁净度:
颗粒数是衡量洁净度的重要指标之一,通常用每立方米空气中特定尺寸(如 0.1μm、0.3μm、0.5μm 等)的颗粒数量来表示。随着芯片制程的缩小,对颗粒尺寸的控制越重要,尤其是0.1μm及以下的颗粒,将会对芯片的良率产生重要影响。例如在28nm及以下制程的芯片制造中,0.1μm的颗粒就可能导致芯片失效,控制颗粒数量不仅影响芯片性能和可靠性,也会影响芯片成品率,因此控制微小颗粒的数量对提高芯片生产效率来说很关键。

产品展示:

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产品参数:

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洁净度等级标准:
国际上以环境中的尘埃粒子数量及大小来判定洁净度的等级,不同的等级适用于不同的工艺,通用的ISO14644-1标准里对不同大小的粒子数量做出了明确规定。半导体行业通常采用粒子计数器等专业设备来进行检测,在不同的采样点和时间进行采样,以确定环境中悬浮粒子的数量和大小,进而确认是否符合洁净度等级标准。
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洁净度等级标准:

该产品支持六粒径通道检测,包括0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm,能够充分满足洁净度等级判定的需求,精准识别尘埃粒子的数量,为半导体制造过程保驾护航。这款尘埃粒子计数器的采样气量为28.3L/min±5%(1CFM),采样浓度35000颗/升,能够有效地对空气里的颗粒数量进行检测。

权威校准
通过苏州市计量测试院JJF1190-2008《尘埃粒子计数器校准规范》,获得权威校准,检测质量有保证。

 

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