ISO14644-3：2019《洁净室及相关受控环境 第三部分
作者： www.tenor-china.com 时间：2020-04-11 来源：腾诺电子
摘要：洁净室及相关受控环境的测试方法...
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修订后的测试方法包括：压差测试、气流测试、气流方向和流型、自净时间测试、温度测试、湿度测试、已安装过滤器泄漏测试、隔离检漏、静电和电离子器检测、粒子沉降测试、隔离测试
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相比2005版，删除空气悬浮超微粒子计数方法、空气悬浮大粒子计数方法，新增隔离测试方法，修订后的测试方法和测试规则、测试仪器见下表。
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对各项测试所用仪器要求进行与时俱进的规定
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有关空气洁净度分级的指南改为ISO14644-1
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要求气流流型测试需要在静态条件下测试基本的气流组织，然后在动态条件下模拟实际操作。
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对于单向流洁净室，不建议进行自净时间测试
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自净时间测试中使用的人工汽雾，应考虑环境温度和污染残留风险
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修订已安装的过滤器泄漏测试方法（B.7） ，以解决其复杂性和注意到的错误；
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对于已安装过滤器的泄漏测试，目的是确认过滤器正确安装，这些测试并不用于确定过滤介质的效率。
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使用气溶胶光度计进行过滤器泄漏测试的接受标准通常是≤0.01%，但是对于MPPS≥99.95%且≤99.995%的过滤器，接受标准是≤0.1%。
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对于上游气溶胶的要求，粒子的质量中径一般为 0.5 µm 至 0.7 µm，几何标准偏差为 1.7。
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关于上游气溶胶浓度的要求，2005版要求浓度为10mg/m3-100mg/m3，2019版改为1mg/m3-100mg/m3，但表示，并不是所有光度计都适合1mg/m3的上游浓度挑战（与灵敏度相关）
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对于上游气溶胶的均匀性，气溶胶浓度的变化不应超过平均测量值的 ±15 %。
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在对过滤器泄漏率进行扫描之前，应进行气流速度测试
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过滤器泄漏率测试时，扫描速度建议为5cm/s，扫描头与送风面保持≤3cm的距离。
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泄漏率测试过程中应在合理的时间间隔内复测上游气溶胶浓度
